Mech-Eye LNX-7500 시리즈

LNX-7515-GL

가장 미세한 특징의 측정 및 검사

프로파일당 데이터 포인트 수 : 3,200
스캔 속도 : 2-10 kHz
기준거리(RD) : 35 mm
Z축 측정 범위 : 6 mm
X축 측정 범위(가까운 쪽/기준 거리/먼 쪽) : 12/13/13 mm
X축 해상도 : 4 µm
Z축 반복 정밀도 : 0.15 µm
Z축 선형성 : ±0.02% of F.S.